必一运动体育半导体芯片制作洁净室介绍

　　洁净室介绍 目录 洁净室的界说 洁净室的由来 洁净室的等级 洁净室的核算 洁净室在颀中的运用 洁净室的界说 洁净室为将必定空间范围内空气中的微 尘粒子、有害空气、细菌等污染物扫除， 并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、 气流速度与气流散布、噪音轰动及照明、 靜电操控在某一需求范围内，而给于特 別规划的房间以契合制程工艺之需求 洁净室的由来 1. 19世纪中叶在医院外科手术前,先向手术室内喷洒石碳酸溶液,以操控感染,开端有洁净室的概念。 2. 1950年，高效粒子空气过滤器（HEPA）面世，成为洁净技能开展史上的第一座里程碑。 3. 1963年美国发布了洁净室第一个军用部分的联邦规范209。 4. 1974年日本政府发布GMP，进行辅导推广。 5. 1975年世界卫生组织（WHO）正式发布GMP,1977年再次向成员国引荐GMP,并确以为WHO法规 6. 20世纪80年代今后，美国和日本别离研制成功过滤目标为0.1μm，捕集功率达99.99%的新式 超高效过滤器。终究建成0.1μm 10级和0.1μm 1级的超高等级洁净室，它使洁净技能的开展又 进入一个新时期。 7. 在我国,空气洁净技能的研讨始于20世纪60年代中期,GMP在我国是20世纪70年代末受到重视。 1984年颁发了《洁净厂房规划规范》（GBJ73—84),2002年进行了修订（GB50073—2001), 1990年颁发了《洁净室施工及检验规范》（JGJ71—90）。 1998年国家药品监督管理局发布了《药品出产质量管理规范》（GMP—98）。 洁净室的等级 空气洁净度：洁净空气中含尘量多少的程度（即含尘浓度）,含尘浓度高则洁净度低， 含尘浓度低则洁净度高。 等级区分: 美国联邦规范（USA Federal Standard）209E（1992年） (以单位体积空气中大于等于0.5um粒径的粒子个数直接命名) 洁净度等级 粒 径 Particles Size (um) Clean class 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0 1 35.0 7.50 3.00 1.00 NA 10 350 75.0 30.0 10.0 NA 100 NA 750 300 100 NA 1000 NA NA NA 1000 7.0 10000 NA NA NA 10000 70.3 100000 NA NA NA 100000 700 日本JISB9920规范 (以单位体积空气中大于等于0.1um粒径的粒子个数以10n表明,按指数n命名为洁净度等级) 空气洁净度等级(N) 0.1um 1 10 2 100 3 1000 4 10000 5 100000 6 1000000 7 8 大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3) 0.2um 0.3um 0.5um 1um 2 24 10 4 237 102 35 8 2370 1020 352 83 23700 10200 3520 832 237000 102000 35200 8320 352000 83200 3520000 832000 5um 29 293 2930 29300 9 35200000 8320000 293000 现在规范 依据≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表(我国国家规范GB50073-2001等 同选用国际规范ISO14644-1) 个/M3≥0.5um ISO 14644-1(1999) US 209E(1992) US 209D(1988) FRANCE GERMANY AFNOR(1981) VDI 2083(1990) JAPAN JAOA(1989) 1 - - - - - - 3.5 2 - - - 0 2 10.0 - M1 - - - - 35.3 3 M1.5 1 - 1 3 100 - M2 - - - - 353 4 M2.5 10 - 2 4 1,000 - M3 - - - - 3,530 5 M3.5 100 4,000 3 5 10,000 - M4 - - - - 35,300 6 M4.5 1,000 - 4 6 100,000 - M5 - - - - 353,000 7 M5.5 10,000 400,000 5 7 1,000,000 - M6 - - - - 3,530,000 8 M6.5 100,000 4,000,000 6 8 10,000,000 - M7 - - - - 被操控的含尘浓度的具体规则 1、何状况下的含尘浓度 动态、静态、空态 2、何范围内的含尘浓度 离地0.8~1.5m高的区域。 洁净室的核算 当按洁净等级区分时，换气次数为： 100级 ≥360次/h 1000级 ≥50次/h 10000级 ≥25次/h 100000级 ≥15次/h 当然气流速度也是有约束的： 乱流洁净室：吹过水平面的气流速度＜0.2 m/s 层流洁净室：笔直平行流洁净室≥0.25m/s 水平平行流洁净室≥0.35m/s 循环次数的核算 FFU是将污染之空气过滤，稀释，使洁净室的环境 能到达制程工艺所需之环境，其单位时间内循环 次数直接决议着洁净室的质量。 单位时间内循环次数可按下式核算： n1=n2*u*s/V 式中： n1为：换气次数 次/s n2为：FFU个数 u 为：经过HEPA的风速 m/s V 为：房间的体积 m3 S 为：FFU截面积 m2 Particle核算公式 各种要求粒径D的粒子最大答应浓度Cn由以下公式确认: Cn 10N 0.1 2.08 D 式中：Cn——大于或等于要求粒径的粒子最大答应浓度（pc/m3）； Cn是以四舍五入至附近的整数，有用位数不超越三位。 N ——洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中心 数能够按0.1为最小答应递增量。 D——要求的粒径（?m），其值为[0.1~5.0]。 0.1——常数，其量纲为?m。 室内单位容积发尘量： 1,人停止（或根本停止）时： 式中：0.4x105 :人体单位容积发尘量，粒/m3.分 P:室内人数 β:一般为常数8 2,人动作时,一般以为一个人在室内活动时的发尘量为其停止 时的5倍,即 式中： β=40 关于静压 关于大部分洁净室，为了避免外界污染侵入，需坚持室内 压力（静压）高于外部的压力（静压），压力差的保持一 般应契合以下准则： 1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。 2.洁净度等级高的空间的压力要高于相邻的洁净度等级 低的空间的压力。 3.相通洁净室之间的门要开向洁净度等级高的房间。 《洁净厂房规划规范》规则： 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压 差，应不小于4.9Pa。洁净区与室外的静压差，应不小于 9.8 Pa。 洁净室正压值与房间换气次数的联系 室内静压值(pa) 4.9 有窗，气密性较差的 洁净室（次/h） 0.9 有窗，气密性较差的 洁净室（次/h） 0.7 无窗土建或洁净室 （次/h） 0.6 9.81 1.5 1.2 1.0 14.72 2.2 1.8 1.5 19.62 3.0 2.5 2.1 24.53 3.6 3.0 2.5 29.43 4.0 3.3 2.7 34.34 4.5 3.8 3.0 39.24 5.0 4.2 3.2 44.15 5.7 4.7 3.4 49.05 6.5 5.3 3.6 关于温湿度 洁净空间的温、湿度首要是依据工艺要求来确认的。在满意工艺 要求的条件下，应考虑人的舒适感。 温度对出产工艺的影响，首要是从产品精度和合格率来考虑的。 另一方面也从污染视点考虑。因为温度升高后，会引起人出汗， 汗水会对产品发生污染。 湿度过高发生的问题也许多，如相对湿度超越55%今后，冷却水 管壁面上会结露。假如发生在精密设备或电路中，就会引起各种 事端。相对湿度在50%时易生锈。 此外，湿度太高会使物体外表的尘土难以铲除。可是相对湿度低 于30%时，又因为静电力的效果使粒子也简单吸附于物体外表， 在半导体出产车间，静电会使半导体器材发生击穿。所以，在洁 净室内应对温、湿度加以操控。 《洁净厂房规划规范》中规则：出产工艺无温、湿度要求时，洁 净室温度为20~26℃，湿度为70% 关于噪声 洁净室内的噪声级，应契合下列要求： 一、动态测验时，洁净室内的噪声级不该超越70分贝。 二、空态测验时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝；层流洁净室的噪声级不该大于 65分贝。 ◎ 20dB 幽静、树叶声、耳语声 讲电话十分清楚 高规范环境 ◎ 30dB 安静的小树林、小河滨 讲电话十分清楚 优秀环境 ◎ 40dB VIP室,会议室,教堂,安静的小区 讲电话杰出 满意环境 ◎ 50dB 一般的办公室 讲电话能够承受 不太满意的环境 ◎ 60dB 打字室,一般出产区域 核算才能下降 讲电线dB 大声说话 血管缩短,注意力下降 ◎ 80dB 繁忙的路途 简直难以讲电线dB 高速行驶之巴士 过错大大添加,反映变得有些缓慢 ◎ 100dB 繁忙高架桥下 很难过 ◎ 110dB 防空警报声 ◎ 120dB 修马路 ◎ 130dB 喷发飞机起飞 耳朵会痛 ◎ 140dB 距喷发引擎 25cm 耳膜会破 关于照度和眩光 照度 因为洁净室内的作业内容大多有精密的要求， 并且又都是密闭性房子。所以对照明有很高的 要求。 眩光 照度是关于照明量的目标，而照明质量的目标 则选用眩光这一概念。假如照明的明亮度得到 满意，但若因为眩目而无法作业，则这种照明 效果是欠好的。 洁净室在颀中的运用 颀中科技洁净室由MAU+FFU+Dry Coil体系 组成，其间FAB1 PHOTO区洁净度为100级 FAB1其他区域及FAB3全区洁净度为1000级， 更衣室洁净度为10000级，对温湿度要求如下： Photo: 温度 20~22 湿度 42%~48% Fab1其它： 温度 19~23 湿度 42%~55% Fab3: 温度 20.5~23.5 湿度 45%~55% 外氣空調箱(MAU)+FFU+Dry Coil系統 特色： 1，双层天花板內空间为微负压 2，適用CLASS 1K~1 3，无尘室升級简单 4，制作本钱较高、工作本钱低 5，工作噪音稍高 6，单一或少数FFU毛病，不影响无尘室工作 FFU体系(独立设置外气空調箱) FROM OA MAU MA RA SHAFT RA SHAFT SA SA RA RA Dry Coil体系（新风+回风） Dry Coil又称干盘管， 望文生义便是正常运用的时分 不冷却到露点的盘管， 即：仅改动温度，不改动空 气水份含量的湿空气处理进程, 在洁净室内首要起到调理温度 的效果，在运用的进程中需求注 意处理空气的状况，一般来说进 入盘管的水温不宜过低，以避免 发生凝结水 ，然后影响Dry Coil 的冷却效果及洁净室内环境。例 如，颀中Fab1&Fab3，MAU新风 送风露点温度根本保持11℃左右 则Dry Coil进水温度(即：DCP出 水温度)理论上应大于11 ℃， 才不至于结露，现阶段 Fab1&Fab3 DCP出水温度根本 在14.5 ℃，彻底符合理论。 风淋室 风淋室 风淋室是用于吹除人、 物外表附着的尘土， 一起起气闸效果， 避免未经净化的 空气进入洁净区域。 是进行人身、物料 净化和避免室外 空气侵入洁净区的 有用设备。 风淋室可分为：小室式、通道式 小室式经过才能有限，但吹淋效果好。 通道式答应接连多人吹淋，经过才能大， 但吹淋效果差，适用于作业人员较多的场合。 传递窗 传递窗是用来在洁净室有表里或洁净室 之间传递物件时可起隔气流贯穿 效果的孔口设备，以避免污染随 物件的传递而传达。 传递窗可分为： 机械式 洁净式 灭菌式 关闭可取式

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