好好学习社区 半导体无尘车间办理准则 (ISO9001-2015) 1.0 意图 半导体产品出产进程对车间有清晰的洁净要求,为了满意出产工艺需求、保证 产品质量、安全出产,有必要对洁净室的环境、人员、物料、设备、出产进程等 进行操控。 2.0 办理准则 2.1 进入洁净室的办理,包含对洁净室作业人员进入、物料进入、各类设备的 搬入以及相关的设备、管线的维护办理,应做到不得将微粒、微生物带入洁净 室。 2.2 操作办理技能,对洁净室内人员用洁净作业服的制造、穿戴和清洗;操作 人员的移动和动作;室内设备及装饰资料的挑选和打扫、灭茵等,尽或许地减 少、避免洁净室内尘粒、微生物的发生、停留、繁衍等。 2.3 严厉各类设备、设备的维护办理,拟定相应的操作规程,保证各类设备、 设备按要求正常作业,包含净化空调体系、各类水气电体系、出产工艺设备和 工用具(工装夹具)等。以保证产品出产工艺要求和空气洁净度等级。 2.4 打扫、灭菌办理,对洁净室内的各类设备、设备的打扫、灭茵以及办法、 周期和查看作清晰的规矩,避免、捎除洁净室内尘粒、微生物的发生、停留、 繁衍。 2.5 洁净室环境操控的内容包含:空气净化、洁净修建、与产品直接触摸的水 或气体或化学品和出产设备、工用具等的污染物操控以及微振荡、噪声、静电 的操控、避免等。 更多优惠资料下载:德信诚练习网 3.0 适用范围 好好学习社区 半导体公司一切洁净出产区及洁净辅佐间(包含人员净化用室、物料净化用室和 相关生活用室等)、车间内办理区(包含部分作业、值勤、办理和体息室等)和将 来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅佐用房。 4.0 术语 ? 洁净出产区是洁净厂房的首要部分,对洁净等级有清晰规矩的区域。 ? 洁净辅佐间是洁净厂房不行短少的必备房间。洁净辅佐间对洁净厂房的平面 关系密切,对洁净厂房的制作带来影响和投产后能否满意产品出产的需求以 及能否可靠地避免出产进程的污染或穿插污染至关重要。 ? 办理区是洁净厂房内的产品出产进程的出产办理、技能办理用房和必要的操 作人员的歇息、福利用房。 ? 设备区即净化空调体系、共用动力体系等用房,是洁净厂房的重要组成部分。 5.0 办理程序 5.1 无尘车间洁净室施工办理准则 5.1.1 布景 5.1.1.1 半导体制造业有必要在洁净的环境中进行,在施工中有必要遵照职业规矩 和程序。本文件列出了这些规矩和程序的概要。为了保证项意图成功,现场的 每一位人员都有必要恪守。 5.1.1.2 图纸上关于施工的洁净制作草案将被强制履行。这包含除了质料和成 品库房以外的一切主厂房内的当地。 5.1.1.3 洁净室施工办理准则现在首要针对一期主厂房内的部分改造和扩建, 后期一切洁净室施工项目仍依照本准则规矩的准则进行办理。 更多优惠资料下载:德信诚练习网 5.1.2 职责与职责 好好学习社区 5.1.2.1 一切承包商有职责保证他们的工人都了解这些规矩和程序,而且在他 们疏于遵照或违背时给予练习和练习。被分配到洁净制作区域的每位工人有责 任和职责了解并恪守洁净制作规矩和程序。 5.1.2.2 承包商担任履行洁净室草案。他将每天对洁净制作区域进行查看,并 填写查看清单。承包商担任供给洁净室所需物品,例如:鞋套,毛巾,垫子和 工装。他也担任供给每日履行洁净规矩和程序的人员和设备。 5.1.2.3 承包商制作区域进口并对其进行办理。他供给清洗暴晒每个进口处鞋、 外套和衣服的清洗店。他将对在洁净区域作业的人员进行练习,并维护被答应 在此区域作业的人员身份确定和办理。 5.1.2.4 开端阶段,承包商应在每个进口处组织人员(除非半导体公司在该入 口处组织有人员)以保证本规矩和程序的履行。 5.1.2.5 重复违背规矩和程序的人员将被开除。没有贯彻履行本规矩和程序的 供货商将被开除。 5.1.3 草案细则 洁净室草案分为三部分,每一部分对应施工的一个进程。施工挨近竣工阶段, 不答应从外面或洁净区域的施工场所带入脏物。 5.1.3.1 榜首部分 ? 榜首部分首要针对直到首要施工完结后。包含房顶,覆层,门和窗户。一切 工人有必要从图纸上标明的通道进出施工现场。每个进口将会有清洗店。一切 工人进入有必要坚持鞋子洁净。不答应穿独特的服装,工人的衣服应该坚持适 当的洁净。现场安全规矩有必要时间恪守。 更多优惠资料下载:德信诚练习网 好好学习社区 ? 一切设备和资料有必要从一个进口进入施工现场,而且坚持洁净,不答应有碎 片掉下。 ? 施工现场内不答应吃东西,吸烟,喝酒。 ? 每班结束时,有必要清走一切废物和废旧物品。总归,整个施工现场每天有必要 坚持洁净。 5.1.3.2 第二部分 ? 第二部分首要针对直到 gridline B 西边洁净区域的内墙完结。此刻,只允 许承包商雇佣的工人在洁净区域。其他供货商假如要进入洁净区域,有必要提 前向承包商提出申请,得到答应后方可进入。工人、设备和资料的进口是经 过威世半导体(西安)有限公司办理人员赞同的。 ? Gridlines 1 和 2 之间的通向制品库房的外门。 ? Gridlines 15 和 16 之间的通向质料库房的外门。 ? 其它进口有必要通过洁净工程承包商的书面同意。两个进口周围将会为很或许 形成污染的资料预备或拆包预留区域。进如洁净区域之前,资料和设备不允 许有脏物或由掉下,而且应该用洁净的干布擦洗洁净。 ? 任何或许会形成污染的活动有必要有必要提早通过洁净工程承包商的同意。这包 括砂纸打磨,碾,开凿,演练,焊接,切开和任何用水或喷淋作业。承包商 要用任何或许的办法防备污染。 ? 装好的地板有必要用 PVC 板包装维护。 ? 榜首部分说到的必要的衣服、鞋套也是有必要的。 ? 第二


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