人民网长沙1月20日电 星城长沙,高新麓谷,国内第一条碳化硅研制、出产全工业链产线日,湖南三安半导体项目最大单体M2B芯片厂房顺利完结封顶, 该栋厂房占地面积23206平方米、建筑面积52326平方米,钢构大屋面面积为16500平米。此次封顶标志着这座湖南省境内的首个第三代半导体工业园项目(一期)Ⅰ标段完结全面封顶。

  该项目总投资160亿,分两期建造,当时项目一期由中建五局三公司担任施工建造,首要包括碳化硅长晶、衬底、外延、芯片、器材封装等厂房及相关配套设备建造,项目全面建成投产后将构成两条并行的碳化硅研制、出产全工业链产线,产品为高质量、低成本、高稳定性碳化硅衬底及各类器材,可广泛用于新能源轿车、高铁机车、航空航天和无线G)通讯等。

  半导体因为其精密性,对环境洁净度、温湿度、振荡、ESD(静电操控)、AMC(气态分子级污染物)等都有必定的要求,芯片出产车间关于出产环境的空气洁净度非常挑剔,就算是一粒小小的粉尘,粘在芯片上也或许构成短路,从而直接影响成品率。为了满意半导体制作工艺需求,出产车间有必要到达洁净车间的规范。

  “三安半导体项目建成后将服务于技能密集型半导体工业,对空气洁净度提出了很高要求。咱们需求完结对空气洁净度有着高要求的7座单体,其间衬底、外延厂房提出了“千级”洁净度的要求,而芯片厂房更是提出了‘百级’洁净度的要求。”总包建造方中建五局三公司项目担任人周祥介绍到:“所谓‘百级’洁净,即每立方英尺的空气中≥0.5微米粒径的粒子数量不超越100个,堪比最高洁净等级手术室的规范。”

  洁净规范一般依照十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级……区分,数值越小,代表净化等级越高。一般公共场所灭菌消毒可参照三十万级规范,医院ICU病房灭菌消毒参照十万级规范,而中建五局三公司承建的湖南三安半导体项目中M2B碳化硅芯片厂房为百级规范,对空气洁净度有着极高要求。

  项目技能担任人陆建臻介绍到:“为确保无尘洁净室大面积出产车间的空气洁净度,咱们需求做好华夫板(使用楼板内孔洞构成回风通道的楼板)高精度施工,树立洁净空调通风体系构成回风通道。为此,项目在施工进程中每一步都会进行严厉的技能复核、严厉的施工进程技能操控。”

  据了解,芯片厂房华夫板厚度为70cm,可抗微震。华夫板面积为14100㎡,其间浇筑有35000个直径35cm的奇氏筒,相当于每2㎡就有5个用于换气的圆形孔洞,到时芯片产线将布置于华夫板之上,整个车间使用新风体系进气确保正压,并经过华夫板回风通道排气,以此确保车间洁净度。

  据悉,该项目悉数建成后估计可完成年产量120亿元以上,可直接供给4500个工作岗位,并带动上下流配套工业产量估计超1000亿,供给近10000个工作岗位。

  本项目是湖南省执行国家相关方针,施行“三高四新”战略的重要载体,凭仗本项目完好的碳化硅工业链布局和强壮的制作渠道,将快速发展为具有自主知识产权、把握核心技能与职业话语权、具有重要世界影响的碳化硅资料与器材工业出产基地。一起因为半导体工业链中,上游工业关于中、下流工业的扩大效应非常显着,项目的施行,也必将推进湖南长沙先进半导体工业的强大,促进构成新的经济增长点,助力构成湖南长沙在化合物半导体范畴建立世界级领先地位。(褚兴科 王丽)


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