必一运动体育无尘室等级区别

　　无尘布的适用范围很广,只要洁净要求比较高的,都会用到,比方,LCD 拼装,或 是一些外表清洁等无尘室根据洁净程度不同分许多等级现在参半导体加工和面 板拼装厂的无尘室等级大都为 1000 级和 100 级的居多数字越小,洁净等级越高 1000 级的概念是： 每立方英尺内,大于等于 0.5 的尘土颗粒不能超过 1000 颗 100 级的概念是： 每立方英尺内,大于等于 0.3 的尘土颗粒不能超过 100 颗留意了,每个等级所管控的颗粒巨细也不一样 根据美国联邦政府公布的规范【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无 尘室分为六级。 分别是 1 级、10 级、100 级、1000 级、100 级、1000 级，假如无尘室的等 级只用尘粒数目来叙说，则可假定尘粒的尺度不是 0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺度的级数来表明。 例如： 10 级在 0.2um（尘粒尺度在 0.2um 或更大下，密度不大于 75 颗/立方英尺），1 级在 0.1um（尘粒尺度在 0.1um 或更大下，密度不大于 35 颗/立方英尺）。 而集成电路制造所需的无尘室之洁净度有必要优于 1000 级。 无尘室等级，无尘室规范，无尘室规范界说 一、无尘室界说将空气中之尘土、压力、温度、湿度、气流散布之景象及 速度，操控于必定范围内之空间。 1 / 10 此处所指之尘土为肉眼无法看见的尘土及粒子，且指一般空气清净机无法 彻底铲除之尘土。 无尘室一般分为电子、精细工业用 IndustraialCleanRoom（ICR）；及需操控 微生物浓度等制药、食物工业用 BiologicalCleanRoo（BCR）。 二、联邦规范无尘室等级如今一般多奉行与美国所拟定的联邦规范 （U.S.Federalstandard209b），BCR 则多参阅明定生物粒子约束值的 NASA 规范 （美国航空署 5340.2 规范）。 其 Fed.std 清洁度的表明法为： 1ft3 空气中，含有多少个 0.5μm（micro）以上的微粒子，及称为[等级○○]。 例如： 空气中含有 10 个 0.5 以下时，表明为“等级 10”。 二自然界大气中一般含有 3000~30000 个微粒子。 三、在 JIS 规范下，无尘室清洁度，共分为 8 个等级一般清洁度是指空气的 洁净等级，分为等级 1、2???8，8 阶段。 在 1 立方公尺的空气中，粒径 0.1 微米的尘土若是在 10 个以下时为 1；百个以下是 100=102 是等级 2；千 个以下时是 1000=103 等级 3，一次类推。 21 世界，最顶级工业的开展，加快了工业结构的革新，无尘室建立之必要 性也相对地进步。 2 / 10 产品日渐的小型化和精细化，尘土和温湿的改变对产品的完成度亦构成极 大的损害，导致质量低下。 随同产品的高质量要求，环境无尘化的需求也日益进步。 因此在无尘室顶用防尘资料及产品都显得分外重要。 所谓的无尘室是一个人工的环境，里边含有的粒子远低于一般的环境，随 着集成电路的级数的快速生长，也添加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工 业上即便使粒子之尺度想小于 0.1 微米.也或许阻止产品的运作或下降其寿数。 优于纳米技术的鼓起，构成半导体要害尺度继续缩小，集成电路积集度不 断地添加，尘粒更简略使芯片失效或牢靠度恶化。 例如当金属尘粒落到金属导线时，就或许会使金属导线构成短路。 又假如有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，或许将其腐蚀，所以无 尘室为集成电路制造不行或缺的要素。 无尘车间规范，洁净室规范 一、无尘车间(Clean Room)，亦称为洁净室或无尘室。 「无尘车间」是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌 等之污染物扫除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气 流散布、噪音振荡及照明、静电操控在某一需求范围内，而所给予特别规划之 房间。 亦便是不管外在之空气条件怎么改变，其室内均能俱有坚持原先所设定要 求之洁净度、温湿度及压力等功能之特性。 洁净室最主要之效果在于操控产品所触摸之大气的洁净度及温湿度，使产 品能在一个杰出之环境空间中出产、制造，此空间咱们称之为「无尘车间」。 二、无尘车间规范-等级美国联邦规范（ USA Federal Standard）209E （1992 年）PC/ft3 洁净度等级粒径(um) 3 / 10 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0 1357.531NA010NA100NA0NA1000NANANANA0NANA 我国药品出产无尘车间 （区）的空气洁净度规范洁净度等级尘土最答应数/平方米微生物最大答应数≥ 0.5um 浮游菌个/立方米沉降菌个/皿.30min0NA15 无尘车间及洁净区空气中 悬浮粒子洁净度等级 GB50073-2001 空气洁净度等级(N)大于或等于表中粒径的最 大浓度限值(pc/m3) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm1μm5μm 3000 三、无尘车间规范-控管之项目 1.能除掉空气中飘游之微尘粒子。 2.能防止微尘粒子之发生。 3.温度和湿度之操控。 4.压力之调理。 5.有害气体之扫除。 6.结构物与隔间之气密性。 7.静电之防制。 4 / 10 8.电磁搅扰防备。 9.安全要素之考虑。 1 0.节能之考量。 四、无尘车间规范-分类 1.乱流式(Turbulent Flow)： 空气由空调箱经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由 无尘车间两边隔间墙板或高架地板回风。 气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。 此型式适用于洁净室等级 1,000-100,000 级。 长处： 结构简略、体系建构本钱低，洁净室之扩大比较简略，在某些特殊用处场 所，可并用无尘作业台，进步无尘车间等级。 缺陷： 乱流构成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。 别的若体系中止作业再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时恰当长一段 时刻。 2.层流式(Laminar)： 层流式空气气流运动成一均匀之直线%之过滤器进入 室内，并由高架地板或两边隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需求较高之 环境运用，一般其洁净室等级为 Class 1~ 100。 5 / 10 其型式可分为二种： (1)无尘车间水平层流式： 水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙面之回风体系回风，尘土随风 向排出室外，一般在下贱侧污染较严峻。 长处： 结构简略，作业后短时刻内即可变成安稳。 缺陷： 制造费用比乱流式高，室内空间不易扩大。 (2)无尘车间笔直层流式： 房间天花板彻底以 ULPA 过滤器掩盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净 度，在制程中或作业人员所发生的尘土可快速排出室外而不会影响其它作业区 域。 长处： 办理简略，作业开端短时刻内即可达安稳状况，不易为作业状况或作业人 员所影响。 缺陷： 结构费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架恰当占空间，修理替换 过滤器较费事。 3.复合式(Mixed Type)： 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供部分超洁净之空气。 (1)无尘车间洁净地道(Clean Tunnel)： 以 HEPA 或 ULPA 过滤器将制程区域或作业区域 100%掩盖使洁净度等级提 高至 10 级以上，可节约装置作业费用。 6 / 10 此型式需将作业人员之作业区与产品和机器修理予以阻隔，以防止机器维 修时影响了作业及质量，ULSI 制程大都选用此种型式。 洁净地道还有二项长处： A.弹性扩大简略； B.修理设备时可在修理区容易履行。 (2)无尘车间洁净管道(Clean Tube)： 将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理，将洁净度等级提至 100 级 以上。 因产品和作业员及发尘环境彼此阻隔，少数之送风即可得到杰出之洁净 度，可节约能源，不需人工的自动化出产线为最适合运用。 药品、食物业界及半导体业界均适用。 (3)无尘车间并装部分洁净室(CleanSpot)： 将洁净室等级 10,000~100,000 之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级 进步为 10~1000 级以上，认为出产之用；即属此类。 洁净作业台： 等级 Class 1~100 级。 洁净作业棚： 为在乱流式之洁净室空间内以防静电之通明塑料布围成一小空间，选用独 立之 HEPA 或 ULPA 及空调送风机组而成为一较高档之洁净空间，其等级为 10~1000 级，高度在 2.5 米左右，掩盖面积约 10M2 以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运 用。 7 / 10 五、无尘车间规范-气流之活动无尘车间的洁净度往往遭到气流的影响，换 言之，即人、机器隔间、修建结构等所发生的尘土之移动、分散遭到气流的支 配。 无尘车间系使用 HEP A、ULPA 过滤空气，其尘土的搜集率达 99.97~ 99.995%之多，因此通过此过滤器过滤的空气可说非常洁净。 但是洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘土一旦扩 散，即无法坚持洁净空间，因此有必要使用气流将发生的尘土敏捷排出室外。 无尘车间内的气流是左右洁净室功能的重要要素，一般洁净室的气流速度 是选在 0.25~ 0.5m/s 之间，此气流速度属和风区域，易受人、机器等的动作而搅扰趋于 紊乱、虽进步风速可抑制此一打乱之影响而坚持洁净度、但因风速的进步，将 影响作业本钱的添加，所以应在满意要求的洁净度水准之时，能以最恰当的风 速供给，以到达恰当的风速供给以到达经济性效果。 另一方面欲到达洁净室洁净度之安稳效果，均一气流之坚持亦为一重要因 素，均一气流若无法坚持，表明风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发 生涡流效果，此刻要完成高洁净度事实上很困难。 无尘车间笔直层流式方向要坚持均一气流有必要： (a)吹出面的风速不行有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不行有 速度上的差异。 速度过低或过高( 0.2m/s， 8 / 10 0.7m/s)均有涡流之现象发生，而 0.5m/s 之速度，气流则较均一，现在一般洁净室，其风速均取在 0.25~ 0.5m/s 之间。 影响洁净室的气流要素许多，如制程设备、人员、洁净室拼装材、照冥具 具等，一起关于出产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑要素。 一般操作台或出产设备等外表的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板 距离 2/3 之处，如此可使作业人员作业时，气流可从制程区内部流向作业区， 而将微尘带走；若分流点装备在制程区前方，将成为不妥的气流分流，此刻大 部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘土将被带到设备后边， 作业台因此将遭到污染，良率也必然下降。 无尘车间内的作业桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在 其邻近之洁净度将会较差，在作业桌面钻上回风孔，将使涡流现象削减最低； 拼装资料之挑选是否恰当、设备怖局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之 重要要素。 六、无尘车间规范-构成洁净室的构成是由下列各项体系所组成(在所组成的 体系分子中是缺一不行的)，否则将无法构成一完好且质量杰出的洁净室(1)天花 板体系： 包含吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam 或 U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid 或 Ceilingframe)。 (2)空调体系： 包含空气舱、过滤器体系、风车等。 (3)隔墙板(Partional wall)： 包含窗户、门。 (4)地板： 9 / 10 包含高架地板或防静电舒美地板。 (5)照冥具具： 包含日光灯、黄色灯管等。 无尘车间之修建主体结构，一般选用双面板夹芯彩钢板制造，但无论是何 种结构，有必要满意如下之条件： A.不会因温度改变与振荡而发生裂缝； B.不易发生微尘粒子，且很难附着粒子； C.吸湿性小； D.为了坚持室内之湿度条件，热绝缘性要高无尘车间规范： 规划与施工严厉依照《ISO/DIS14644-1 世界规范》、《GB50073-2001 无尘 车间装规划规范》、《JGJ71-90 无尘车间装施工及检验规范》等专业规范，以 ISO9002 世界质量体系为主旨，进行净化工程的规划、制造、装置、调试的一条 龙服务，满意了不同职业对净化、空调、无菌、照明、电气及装修等需求。 而且对外接受空调水体系装置，配电体系装置。 10 / 10

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