必一运动体育无尘室的等级分类及运用规范

　　根据美国联邦政府公布的规范【FederalAtandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，假如无尘室的等级只用尘粒数目来叙说，则可假定尘粒的尺度是0.5um，无尘室等级应以特定尘粒尺度的级数来表明。例如：10级在0.2um（尘粒尺度在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺度在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。

　　结构简略、体系制作成本低，无尘室扩大比较简单，在某些特殊用处场所可并用无尘作业台，进步无尘车间等级。

　　乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染产品。别的若体系中止作业再激活，欲达要求的洁净度，需耗时适当长一段时间。

　　水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙面的回风体系回风，尘土随风向排出室外，一般下贱侧污染较严峻。

　　房间天花板彻底用ULPA过滤器掩盖，空气由上往下吹，可获得较高的洁净度，在出产中或作业人员所发生的尘土可快速排出室外并不会影响其它作业区域。

　　以HEPA或ULPA过滤器将出产区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上，可节约装置作业费用。此型式需将作业人员的作业区与产品和机器修理予以阻隔，以防止机器修理时影响了作业及质量，超大规模集成电路出产大都选用此种型式。洁净地道还有二项长处：弹性扩大简单、修理设备时可在修理区容易履行。

　　将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境彼此阻隔，少数的送风即可得到杰出的洁净度，可节约能源，不需人工的自动化出产线最适合运用。药品、食物及半导体均适用。

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